氣體質(zhì)量流量計控制器的工作原理特征

流量計可以用于控制各種清潔干燥氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí)，需要向供貨廠(chǎng)商特殊說(shuō)明使用氣體，以免因為選型或選擇密封材料錯誤，造成嚴重損失。通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的材質(zhì)為316L不銹鋼、密封材質(zhì)分為金屬焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡膠。質(zhì)量流量控制器采用金屬焊接密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬焊接密封的MFC。

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門(mén)和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。

氣體質(zhì)量流量計控制器是一種無(wú)須溫度、壓力補償就能方便而且準確地監測在管道中流動(dòng)的各種氣體、熱式氣體質(zhì)量流量計是一種新型流量計量、監控儀表。

氣體質(zhì)量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD)，一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過(guò)傳感元件的熱傳遞量來(lái)計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過(guò)質(zhì)量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。