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氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準級熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著(zhù)氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。熱式氣體質(zhì)量流量計按安裝方式分為：插入式和管段式。
早期的TMF直接將加熱線(xiàn)圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計，由于不能解決嘴蝕和磨損以及防爆等問(wèn)題，使它的工業(yè)應用受很大的限制。托馬斯流量計是這種流量計的代表，主要用來(lái)測量較大流量的氣體質(zhì)量流量;到20世紀50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點(diǎn)，但測量結果易受介質(zhì)參數(如導熱系數、比熱容、粘度等)的影響，可以用來(lái)測量較大的液體流量;到70年代，基于測量流體溫度分布的熱分布型TMF，由于其獨特的優(yōu)點(diǎn)在國內外得到了很快的發(fā)展，用來(lái)測量氣體的微小流量，隨著(zhù)科技的發(fā)展，經(jīng)過(guò)對流量計結構上的重新設計，在接觸式流量計的基礎上，人們提出了一種浸人型的TMF，也得到了很快的發(fā)展，可以用來(lái)測量較大管徑的氣體流量。綜上所述，TMF是一種主要用來(lái)測量氣體質(zhì)量流量的直接式質(zhì)量流量計。
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