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氣體質(zhì)量流量計采用氣流質(zhì)量傳感器和壓力傳感器。氣流質(zhì)量傳感器是基于流過(guò)傳感器氣流質(zhì)量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質(zhì)量流量和氣體壓力同時(shí)轉換成模擬信號輸出。
質(zhì)量流量計零點(diǎn)不穩定形成零點(diǎn)漂移，影響其精確度的進(jìn)一步提高，使得許多型號儀表只得采用將總誤差分為基本誤差和零點(diǎn)不穩定度量?jì)刹糠帧?科里奧利質(zhì)量流量計不能用于測量低密度介質(zhì)和低壓氣體；液體中含氣量超過(guò)。測量系統根據科氏力原理測量介質(zhì)的質(zhì)量流量?？剖狭κ俏矬w在旋轉系統中做直線(xiàn)運動(dòng)時(shí)所受 的力。 ·Δω 科氏力 Δ ω 角速度 旋轉或振動(dòng)時(shí)的徑向速度 科氏力大小與運動(dòng)物體的質(zhì)量Δ 、速度成正比，即與介質(zhì)的質(zhì)量流量成正比。質(zhì)量流 量計用測量管的振。
該流量計同時(shí)實(shí)現熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過(guò)傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個(gè)專(zhuān)門(mén)的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調理并作線(xiàn)性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
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