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質(zhì)量流量計與傳統熱式質(zhì)量流量計的測量原理類(lèi)似，流體的質(zhì)量流量與流過(guò)傳感器所帶走的熱量相對應。在流量芯片上，1個(gè)微熱源的上、下游各對稱(chēng)地設置1個(gè)溫度傳感器，還設置了1個(gè)環(huán)境溫度傳感器，用來(lái)調節環(huán)境溫度變化對微熱源的影響。流體的質(zhì)量流量，微熱源上、下游的溫度變化及微熱源的功率是芯片的主要參數。傳感器所測量的流量為與溫度和壓力無(wú)關(guān)的質(zhì)量流量。盡管如此，控制電路的溫度補償是流量計溫度效應的主要來(lái)源。
質(zhì)量流量計的優(yōu)點(diǎn)為：
①量程比大，MF－FD系列氣體質(zhì)量流量計的量程比達100∶1。
②始動(dòng)流量小?？捎行Ы鉀Q機械式流量計的小流量漏計問(wèn)題，減小燃氣公司的供銷(xiāo)差。
③直接進(jìn)行質(zhì)量計量，不需溫度、壓力補償，減少計量損失。
④壓力損失小，能保證系統節能運行。
⑤重量輕。與容積式流量計相比，MEMS質(zhì)量流量計的重量大大減輕。
⑥無(wú)可動(dòng)部件。
⑦全電子智能功能。專(zhuān)門(mén)設計的電子控制部件能提供信號傳輸、事故報警、IC卡控制等功能；內置存儲器進(jìn)行歷史數據記錄，為深入分析和管理用戶(hù)用氣創(chuàng )造了條件；網(wǎng)絡(luò )通信功能可輕松實(shí)現城市燃氣儀表的系統管理，為城市燃氣實(shí)現調峰、階梯收費等措施創(chuàng )造了條件。
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